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第一百一十五章离子光刻机验证机[2/3页]

　　子光刻机使用的是离子束，双方走了两条不同的技术道路。

　　凭借纳米级机床的生产能力，赵玄生产出了能够生产碳纳米管芯片的光刻机，大小和中型纳米级数控机床一样，算是它的衍生产品。

　　而且使用的零部件并不像ASML公司极紫外光刻机一样多。

　　要知道那台极紫外光刻机内部零件数量多达10万个、4万个螺栓、3000根电线、2公里短软管等等，整台机器重量高达180吨。

　　在赵玄眼中就是大力出奇迹的产物，无限堆叠起来的设备，虽然能解决10nm以下硅芯片的生产问题，但2nm以下摩尔定律失效之后，就已经不够用了。

　　但离子光刻机只有5000多个零部件，重量只有59吨多，和初级制造台的外形一摸一样，算是将《戴森球计划》中的技术应用完全了。

　　真正的科技应该是极尽简单，使用的零部件越少越好。

　　“赵总，现在原型验证机已经组装完毕了，我们要测试一下吗？”

　　饶易饶有脸上带着激动的表情，看着赵玄，当初的一面之缘，让他没想到竟然能够接触到这种设备。

　　一开始还不相信的他，在看到最终成型的设备之后不禁感慨赵玄的设计能力，这么复杂的设备，赵玄一个人能够有条不紊的将所有设计思路理清，想到就非常难。

　　当然，实验室内不止他一个人感到不可思议，魏俊也是一样，从机床那边调过来，没想到研究的竟然是光刻机，还是高精度光刻机，即在情理之外，又在意料之中。

　　虽然只是原型验证机，但魏俊依旧不敢大意，只有真正试生产过，才能证明技术的成熟度。

　　“可以，不过就交给你们了，现我得去休息一下放空放空脑袋。”

　　从开始画设计图，赵玄就把心思放在了这台光刻机上，不得不说，哪怕自己已经掌握所有技术原理，加上纳米级机床，完成起来都很不简单，怪不得光刻机是高端制造业的代表性产物。

　　尤其是实验室内这台和初级制造台一摸一样的产物，赵玄算是将初级制造台芯片生产的模块单独组装生产出来一样。

　　一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等工序。

　　现在碳纳米管材料技术，赵玄还没有时间去研究，所以光刻机验证工作，只能靠现有的硅芯片来做。

　　只不过离子光刻机可以省去非常多的步骤，根本不需要曝光处理，光刻胶都不需要使用，直接通过离子束进行蚀刻。

　　碳纳米管芯片以及硅芯片在使用离子

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